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APNC多年与国际大厂例如IQE、MO厂家交流，延续IEM产品进行优化，并持续改进，以提供可靠稳定的scrubber。
APNC EX4利用气体的化学特性，采用化学方式将有害气体完全溶解，使其达到安全排放标准。产品以其高处理能力，高可靠性稳定性，低耗和低维护的特性，成为全球用户长期的信赖之选。
特色：
• 自动化程度高
• 高處理能力
• 高可靠性、高安全性
• 简单操作、易于维护
• 多点自我监控&报警功能
• 多入口选项节省空间和营运成本
规格：
• 处理气体： 主要处理来自MOCVD的砷烷、磷烷等气体
• 入口数量： 4个文丘里入口 (亦有5、8 入口)
• 处理能力： 10 L/Min 磷烷, 2L/Min 砷烷 or 8 L/Min 磷烷, 4L/Min 砷烷
• 最大总气体流量: 1000L/min
• 设备尺寸： 2.3m(L)×1.28m(D)×2.4m(H)
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