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Ecosys M91A

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M91A是同类等离子体气化和湿式减排系统中的第一选择，透过很低的消耗功率将氟化化合物等高度稳定的材料分解成更小的分子。 M91A是开发和测试用来处理PFC的气体，这些气体主要存在于当今半导体和平板显示器工艺化学工业中。 M91符合氟化温室气体的分解控制和氧化处理的工业规范。

Ecosys C91

Ecosys C91

C91是一种先进的集成热湿减排系统，旨在为当今要求苛刻的半导体、LED和平板显示器工艺化学提供气体控制处理。 C91使用多个带容错系统的加热棒，以减少系统停机时间。加热器在反应室中均匀分布，以确保工艺气体得到充分分解。

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