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Ecosys M91A

M91A是同类等离子体气化和湿式减排系统中的第一选择，透过很低的消耗功率将氟化化合物等高度稳定的材料分解成更小的分子。
M91A是开发和测试用来处理PFC的气体，这些气体主要存在于当今半导体和平板显示器工艺化学工业中。
M91符合氟化温室气体的分解控制和氧化处理的工业规范。

应用：

适用于半导体和平板显示器制造过程产生的工艺气体 (PFCs, PFAs, GHG, TSA)

优点：

低功耗

卓越的PFCs减排效率

限制NOx和COx排放

高流量

拥有成本低

易于安装和服务

符合SEMI S2，CE标志

可连以太网

上一个 : Ecosys C91
Ecosys M91A
M91A是同类等离子体气化和湿式减排系统中的第一选择，透过很低的消耗功率将氟化化合物等高度稳定的材料分解成更小的分子。
M91A是开发和测试用来处理PFC的气体，这些气体主要存在于当今半导体和平板显示器工艺化学工业中。
M91符合氟化温室气体的分解控制和氧化处理的工业规范。
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