产品中心
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规格：
进气口数: 4个文丘里入口 (其它规格可选)
气源: 1) PECVD 2) ICP
总气体流量: 600 L/min (36 m3/hr) (其它规格可选)
目标污染物: 水溶性酸性气体 (NOx, F2, Cl2, SiCl4, HCl等)
设备尺寸: ~ L1.0m x W1.0m x H1.8m
设备重量: 无水时 – 150kg; 运行时– 200kg
特性：
. 通过PH自动控制进水阀补水
. 通过窗口可以观察、维护Scrubber内部
. 喷淋头可触及便于清理更换
. 总体材料为耐腐蚀
. 循环喷淋泵压力监控保护
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