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光电半导体

ADT 967半自动贴膜机

ADT967半自动贴膜机设计用来将晶片自动贴在膜上面。

规格:

支持膜类型

切割用蓝膜 / UV 膜

支持膜环

DTF 2-8-1 ; DTF 2-6-1; 350-103 ; 350-104

支持晶片

6”, 8” 圆片

能力

120 片/小时

温度加热控制卡盘

可到65°C

真空吸附

内置真空发生器用于吸附工件

背膜收集

UV膜背膜收集装置

可选项

客制卡盘

多片, 非接触

其它膜环

4” frame, 5” frame

ESD

静电消除器

特性:

• 自动化- 过程控制,无需用手操作
• 占地尺寸小- 桌面安放设计
• 使用维护快速简单
• 最少的膜使用量


ADT 967半自动贴膜机
ADT967半自动贴膜机设计用来将晶片自动贴在膜上面。
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